Neodry15E日本樫山工業(yè)kashiyama真空泵工作原理：

真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

日本樫山工業(yè)kashiyama真空泵產(chǎn)品詳細描述如下：

舊シリーズに比して、騒音値、軽量化が更に計られています。

*気密構造を採用し、信頼性を向上しています。?

省エネ化を計りました。（舊シリーズに比して消費電力20%低減を実現。（NeoDry15E））?

項目 NeoDry 15E NeoDry 30E NeoDry 36E 備考?

Z大排気速度 (L/min) 250 500 600

到達圧力 (Pa) ≦1.0

Z大吸気口圧力 大気圧

接続口徑 吸気口 NW25 NW40

排気口 NW25

電動(dòng)機定格出力 (kW) 0.4 0.75

電源 (50/60Hz) *1 単相：100～115V?

単相：200～240V?

三相：200～240V

ガスバラスト機構 *2 有り（N2導入可） 凝縮性ガス排気時(shí)?

Z大水蒸気処理量 *3 250g/h 350g/h

騒音値 (dB(A)) ≦56 ≦58 全閉運転時(shí)?

質(zhì)量 (kg) *4 23

（ガスバラスト機構使用時(shí)）120250350600

騒音値 [dB(A)]

（吸気口全閉時(shí)）≦56≦58≦60≦72

振動(dòng)値 [μmp-p]（吸気口全閉時(shí)）≦8

質(zhì)量 [kg]1923255456125

吸気口徑NW25NW40NW50

排気口徑NW25

外観寸法 [mm]

*1. 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい?！?/span>*2. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。

*3. 本體価格となります。オプション価格は別途ご相談下さい。

*海外規格対応についてはお問(wèn)い合わせ下さい。また、上記に関しては予告なく変更される可能性があります。

KASHIYAMA工業(yè)自1946年創(chuàng )建以來(lái)，持續不斷拓展業(yè)務(wù)以應時(shí)代的需求，是秉著(zhù)用戶(hù)至上的信念走過(guò)來(lái)的。特別

是在真空泵領(lǐng)域上，KASHIYAMA工業(yè)堅持不懈地研究,不斷地創(chuàng )造出xian進(jìn)的高科技產(chǎn)品。

KASHIYAMA工業(yè)提供的真空泵及真空設備被應用在廣泛的高科技領(lǐng)域當中，其中包括半導體制造業(yè)和液晶顯示制

造行業(yè)，產(chǎn)品在半導體制造領(lǐng)域和xian進(jìn)的高科技行業(yè)中已經(jīng)榮獲了J高的評價(jià)與信賴(lài)。尤其是來(lái)自于半導體制造行

業(yè)的信賴(lài)，這是KASHIYAMA工業(yè)多年長(cháng)期以來(lái)不斷開(kāi)發(fā)進(jìn)取真空技術(shù)的結果。

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。并在J高難度的制程

發(fā)揮上獲得了客戶(hù)的高度信賴(lài)與評價(jià)。除了干式真空泵以外，魯式及排氣組合式真空泵設備在廣泛的領(lǐng)域當中發(fā)揮

它的威力。

KASHIYAMA工業(yè)將本著(zhù)致力于為顧客創(chuàng )造開(kāi)發(fā)的精神，面對日趨復雜化的未來(lái)需求。

Neodry 15E日本樫山工業(yè)kashiyama真空泵特點(diǎn)

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱(chēng)性，故振動(dòng)小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動(dòng)功率，從而可實(shí)現較高轉速；

(3)泵腔內無(wú)需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)泵腔內無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結構簡(jiǎn)單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線(xiàn)柱面，加工和檢查比較困難。

結構

（1） 泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進(jìn)、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時(shí)穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時(shí)穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個(gè)轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2） 泵的傳動(dòng)方式

真空泵的兩個(gè)轉子是通過(guò)一對高精度齒輪來(lái)實(shí)現其相對同步運轉的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動(dòng)結構布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動(dòng)轉子由電動(dòng)機端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉子軸的扭轉變形小，則兩個(gè)轉子之間的間隙不會(huì )因主動(dòng)軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱(chēng)，泵的重心偏向電動(dòng)機和齒輪箱一側。