以下是一些日本奧普士 OPTEX 的傳感器產(chǎn)品在半導體行業(yè)的應用案例：

激光位移傳感器 CD2H 系列

測量搬運機器人手臂下垂量：該系列傳感器可用于測量搬運機器人手臂的下垂量，其測量范圍可達 1200mm，精度高，且兼容 IO - link，能輕松獲取更精確的測量值，有助于確保機器人在搬運半導體晶圓等精密部件時(shí)的準確性和穩定性。

測量精細陶瓷板厚度：可同時(shí)在精細陶瓷板的四個(gè)角和中心五個(gè)位置進(jìn)行厚度測量，使用 30mm 短程型用于四個(gè)角，130mm 中程型用于中心。其最高重復性為 0.25µm，能保證高精度測量，并且可通過(guò)專(zhuān)用免費軟件即時(shí)記錄測量值，為陶瓷板在半導體制造中的應用提供質(zhì)量保障。

超高精度激光位移傳感器 CDX 系列

切割鋸片撓度測量：CDX - 30A 等型號的激光位移傳感器，光斑尺寸為 ?30µm，可用于測量切割鋸片的側面和窄端面，不僅能高精度測量寬度，還能測量高度，從而對切割鋸片的撓度進(jìn)行精確監測，有助于及時(shí)發(fā)現鋸片的變形情況，保證半導體晶圓切割的精度。

緊湊型低成本位移傳感器 CD33 - L30

晶圓定位測量：CD33 - L30 屬于鏡面反射型傳感器，可用于測量機器人手臂上晶圓的定位。即使對于像晶圓這樣的鏡面物體，也能實(shí)現精確的定位測量。配合 UQ1 - 02 作為控制器，可輕松連接到三菱電機 Melsec - Q 系列模塊，且使用專(zhuān)用的 UQ1 導航設置軟件，方便用戶(hù)在使用多個(gè)傳感器時(shí)進(jìn)行計算設置，提高了晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中的定位精度。

位移傳感器 CD5 - W500

測量真空腔中金屬框架翹曲：CD5 - W500 的測量范圍為 500±200mm，可在腔外遠距離測量半導體框架的翹曲，有助于監測真空腔中金屬框架的變形情況，確保半導體制造過(guò)程中相關(guān)設備的穩定性和精度。

漫反射型光電傳感器的工作原理是基于光的反射特性來(lái)檢測物體的存在或位置，具體如下：

發(fā)射與接收：傳感器由發(fā)射器和接收器組成。發(fā)射器會(huì )發(fā)出一束光，通常是紅外線(xiàn)或可見(jiàn)光，光束以一定的角度向周?chē)臻g發(fā)散。當光束遇到物體時(shí)，部分光線(xiàn)會(huì )被物體表面反射回來(lái)。接收器則負責接收反射光。

檢測判斷：接收器接收到的反射光強度會(huì )因物體的距離、表面材質(zhì)、顏色等因素而有所不同。當沒(méi)有物體在檢測范圍內時(shí)，接收器接收到的光強較弱，主要是環(huán)境光以及發(fā)射器發(fā)出的光在空氣中散射后被接收器接收到的部分。當有物體進(jìn)入檢測范圍時(shí)，物體表面反射的光會(huì )使接收器接收到的光強顯著(zhù)增加。傳感器內部的電路會(huì )將接收到的光信號轉換為電信號，并與預設的閾值進(jìn)行比較。如果電信號強度超過(guò)閾值，傳感器就會(huì )判斷有物體存在，并輸出相應的信號，告知控制系統物體已被檢測到。

不同類(lèi)型的漫反射型光電傳感器在具體性能和應用上會(huì )有所差異，但基本的工作原理都是基于對物體反射光的檢測和分析來(lái)實(shí)現物體檢測功能。