Kashiyama 工業(yè)株式會(huì )社的干式真空泵具有以下特點(diǎn)：

運行可靠：采用特殊設計，旋葉和旋葉及旋葉與腔壁之間沒(méi)有任何摩擦，能保證設備長(cháng)期穩定工作。

維護成本低：在只抽取空氣和氮氣的情況下，只需六年維護一次，延長(cháng)了設備的使用年限，降低了使用成本。

空間需求?。翰捎每绽涫椒绞?，不需要配置冷卻水，可節省空間。

水蒸氣處理能力強：采用氣鎮結構，可以排出所吸取的水蒸氣，部分型號相較于前代產(chǎn)品有 10% 的水蒸氣排出性能提升（36G 除外）。

寬電壓范圍：電壓可在 100V 和 200V 之間自由切換，能適應不同的電力環(huán)境。

數據通信與控制功能：采用 IEC 電源連接器，可通過(guò) RS485 接口進(jìn)行數據通信和速度控制，方便用戶(hù)對設備進(jìn)行監控和管理。

符合相關(guān)標準：符合諧波標準，滿(mǎn)足數據諧波發(fā)射要求，具有良好的電磁兼容性。

無(wú)油無(wú)污染：采用無(wú)油干式技術(shù)，螺桿式 / 爪式轉子結構通過(guò)精密?chē)Ш限D子實(shí)現氣體壓縮，全程無(wú)潤滑油，避免油蒸氣污染，適合對潔凈度要求高的敏感工藝，如晶圓加工。

耐腐蝕：轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，能耐受酸性氣體（如 HCl、Cl?）和顆粒物，可用于處理腐蝕性氣體的場(chǎng)合。

節能高效：采用變頻驅動(dòng)（VFD）調節轉速，能耗較油封泵降低 30% - 50%，在保證性能的同時(shí)降低了能源消耗。

智能控制與監控：具備實(shí)時(shí)參數顯示功能，真空度、溫度、功耗等數據可通過(guò)觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出；還擁有自診斷系統，振動(dòng)、溫度傳感器能預警異常，如過(guò)載或異物進(jìn)入時(shí)會(huì )自動(dòng)停機保護，確保設備安全運行。

低噪音、低振動(dòng)：運行時(shí)噪音值低，振動(dòng)小，不會(huì )對工作環(huán)境造成較大干擾，適用于對噪音和振動(dòng)要求較高的場(chǎng)所，如實(shí)驗室、醫療設備等。

抽速范圍廣：抽速范圍為 10 - 1,500m3/h，極限真空可達 0.1Pa（0.001mbar），可以滿(mǎn)足不同應用場(chǎng)景對抽氣速度和真空度的要求。

干式真空泵通過(guò) 機械部件的精密運動(dòng)（如轉子、螺桿、爪式等）在泵腔內形成容積變化，從而實(shí)現氣體的吸入、壓縮和排出。與傳統油封式真空泵不同，其內部無(wú)需潤滑油密封或冷卻，因此避免了油蒸氣對系統的污染，也省去了頻繁換油和處理廢油的維護工作。

二、核心類(lèi)型及特點(diǎn)

根據結構設計，干式真空泵主要分為以下幾類(lèi)，各有技術(shù)優(yōu)勢：

1. 螺桿式干式真空泵

結構：由一對相互嚙合的螺桿轉子（陽(yáng)螺桿、陰螺桿）組成，轉子表面通常涂覆耐腐蝕涂層（如陶瓷、特氟龍）。

特點(diǎn)：

抽速范圍廣（100 - 1500 m3/h），極限真空可達 0.1 Pa，適合大流量、高真空度需求（如半導體薄膜沉積）。

轉子無(wú)接觸，磨損小，壽命長(cháng)，可處理含粉塵或腐蝕性氣體（如刻蝕工藝中的 Cl?、SF?）。

能耗較低，變頻驅動(dòng)可根據負載調節轉速。

2. 爪式干式真空泵

結構：由多個(gè)爪形轉子按一定相位排列，通過(guò)旋轉形成容積變化。

特點(diǎn)：

轉子間隙小，壓縮比高，極限真空可達 1 Pa，適合中等真空度場(chǎng)景（如光伏電池制造）。

運行時(shí)噪音低、振動(dòng)小，適合實(shí)驗室或對環(huán)境要求高的車(chē)間。

對水蒸氣和少量液體有一定耐受性（如氣鎮結構可排出水蒸氣）。

3. 渦旋式干式真空泵

結構：由一個(gè)固定渦旋盤(pán)和一個(gè)旋轉渦旋盤(pán)嵌套組成，通過(guò)偏心旋轉形成氣體壓縮腔。

Kashiyama工業(yè)株式會(huì )社的干式真空泵特點(diǎn)：

結構緊湊，體積小，適合空間有限的場(chǎng)景（如小型半導體設備）。

抽速相對較低（10 - 100 m3/h），極限真空約 10 Pa，常用于低真空度的氣體抽?。ㄈ缯婵瞻b、物料輸送）。

4. 活塞式干式真空泵

結構：通過(guò)活塞在氣缸內往復運動(dòng)實(shí)現氣體壓縮，缸壁采用自潤滑材料（如石墨）。

抽速穩定，適合處理不含顆粒的清潔氣體（如制藥行業(yè)的真空干燥）。

維護相對簡(jiǎn)單，但轉速較低，極限真空約 100 Pa，應用場(chǎng)景較局限。